Cette série de transducteurs de nettoyage mégasonique à 950KHz est spécialement développée pour les procédés de nettoyage de précision des plaquettes de semi-conducteurs. Elle est compatible avec les principaux formats de plaquettes, notamment 6-inch, 8-inch (double 6-inch) et 12-inch (300mm), avec des puissances maximales respectives de 1200W, 2400W et 4800W. Les ondes mégasoniques haute fréquence à 950KHz génèrent de minuscules bulles de cavitation produisant une action douce et uniforme, qui élimine efficacement les microparticules, les contaminants organiques et les résidus de résine photosensible à la surface des plaquettes, sans provoquer de microdommages sur ces pièces de précision. Grâce à une conception standardisée de la surface de rayonnement vibratoire et des dimensions hors tout, les trois modèles présentent une structure compacte, une excellente étanchéité et une répartition uniforme et stable du champ acoustique en fonctionnement. Ils peuvent être intégrés aux équipements automatiques de nettoyage de plaquettes et sont largement utilisés dans le nettoyage humide des semi-conducteurs, les circuits intégrés, les puces photovoltaïques et d’autres secteurs de fabrication de pointe. Ils améliorent ainsi le rendement de production des plaquettes tout en répondant aux exigences industrielles de haute précision et de très haute propreté.