Industrie des semi-conducteurs

Sept systèmes livrés pour les applications liées à la fabrication de semi-conducteurs : machines de nettoyage de plaquettes, lignes d’électropolissage et de passivation de corps de vanne, systèmes d’aspersion-séchage pour composants non immergeables et machines antidéflagrantes pour solvants inflammables.
Les exigences reposent sur des mesures : comptage particulaire, état de surface des composants des circuits de gaz et qualité d’eau définie par sa conductivité. Elles imposent une eau ultrapure au rinçage, une fréquence maîtrisée pour éliminer les particules submicroniques sans détériorer les surfaces, une manutention par cassettes pour transférer les plaquettes sans casse et des matériaux choisis selon leur compatibilité chimique.
La construction antidéflagrante répond ici à l’emploi de solvants inflammables dans certains procédés. La sécurité doit être intégrée dès la conception de la machine. Lorsque votre procédé prévoit une classe de propreté ou une spécification d’état de surface écrite, ce document constitue le point de départ de l’étude.