Przemysł półprzewodnikowy

Siedem dostarczonych systemów wspierających produkcję półprzewodników: maszyny do mycia płytek półprzewodnikowych, linie do elektropolerowania i pasywacji korpusów zaworów, systemy natryskowo-suszące do komponentów, których nie można zanurzać, oraz urządzenia w wykonaniu przeciwwybuchowym do pracy z łatwopalnymi rozpuszczalnikami.
Wymagania określają tutaj liczby, a nie wygląd: liczba cząstek, stan powierzchni komponentów instalacji gazowych oraz jakość wody wyrażona przewodnością elektryczną. Przekłada się to na konkretne wymagania wobec urządzeń: płukanie wodą ultraczystą, kontrolowaną częstotliwość do usuwania cząstek submikronowych bez uszkadzania powierzchni, transport kasetowy chroniący płytki przed pękaniem oraz dobór materiałów według odporności na chemię procesową, a nie ceny.
Wykonanie przeciwwybuchowe jest potrzebne w tej kategorii, ponieważ część procesów wykorzystuje łatwopalne rozpuszczalniki. Rozwiązania zapewniające bezpieczeństwo muszą być integralną częścią maszyny, a nie dodatkiem do gotowego urządzenia. Jeżeli proces ma pisemnie określoną klasę czystości lub specyfikację powierzchni, właśnie ten dokument jest właściwym punktem wyjścia do projektu.

Contact Us Right Now