W pełni automatyczny system mycia ultradźwiękowego płytek półprzewodnikowych

JTM-10720AD to w pełni automatyczny system mycia ultradźwiękowego z 10 komorami, zaprojektowany specjalnie do mycia płytek półprzewodnikowych. Pracuje z częstotliwością ultradźwięków 40KHz i umożliwia regulację temperatury od temperatury otoczenia do 100℃, aby dostosować proces do różnych materiałów płytek i rodzajów zanieczyszczeń. Stabilna, równomierna kawitacja ultradźwiękowa skutecznie usuwa pozostałości organiczne, mikrocząstki, zanieczyszczenia jonami metali i osady po obróbce z powierzchni płytek, zapobiegając zarysowaniom, ponownemu osadzaniu się cząstek i zanieczyszczeniu krzyżowemu. System wyposażono w automatyczny transport bramowy obsługujący 10 stanowisk. Ma wymiary gabarytowe 12M2M2.6M, moc całkowitą 100KW i masę netto 5000kg. Konstrukcja z materiałów odpornych na korozję, zapewniających wysoką czystość, precyzyjna filtracja obiegowa oraz układ utrzymywania stałej temperatury gwarantują stabilną pracę i wysoki standard czystości. System znajduje szerokie zastosowanie w precyzyjnym myciu na mokro płytek krzemowych, płytek z węglika krzemu, podłoży szafirowych i innych materiałów półprzewodnikowych, spełniając rygorystyczne wymagania ultrawysokiej czystości dla trawienia, nanoszenia powłok, obudowywania i innych procesów początkowych etapów produkcji półprzewodników.