Système de nettoyage par ultrasons entièrement automatique pour plaquettes de semi-conducteurs

Le JTM-10720AD est un système de nettoyage par ultrasons entièrement automatique à 10 cuves, spécialement conçu pour les plaquettes de semi-conducteurs. Utilisant une fréquence ultrasonore de 40KHz, l’équipement offre une température réglable de la température ambiante à 100℃ pour s’adapter aux différents matériaux des plaquettes et aux contaminants. Grâce à une cavitation ultrasonore stable et uniforme, il élimine efficacement les résidus organiques, les microparticules, les impuretés ioniques métalliques et les dépôts issus de la fabrication à la surface des plaquettes, en évitant les rayures, la réadhésion des particules et la contamination croisée. Équipé d’un portique de transfert automatique à 10 postes, il présente des dimensions hors tout de 12M2M2.6M, une puissance totale de 100KW et un poids net de 5000kg. Construit avec des matériaux résistants à la corrosion et adaptés aux exigences de haute propreté, et doté d’une filtration de précision en circulation ainsi que d’un système de régulation à température constante, il assure un fonctionnement stable et un niveau de propreté élevé. Il est largement utilisé pour le nettoyage humide de précision des plaquettes de silicium, des plaquettes de carbure de silicium, des substrats en saphir et d’autres matériaux semi-conducteurs, répondant aux exigences strictes d’ultra-haute propreté pour la gravure, le dépôt de revêtements, l’encapsulation et d’autres procédés de fabrication en amont des semi-conducteurs.