Industria de semiconductores

Siete sistemas entregados para procesos de fabricación de semiconductores: máquinas de limpieza de obleas, líneas de electropulido y pasivación de cuerpos de válvulas, sistemas de aspersión y secado para componentes que no admiten inmersión, y equipos antideflagrantes para disolventes inflamables.

Aquí los requisitos se expresan en cifras: recuentos de partículas, condiciones superficiales de componentes para sistemas de gases y calidad del agua definida por su conductividad. Esto exige agua ultrapura para el enjuague, frecuencia controlada para eliminar partículas submicrométricas sin dañar las superficies, manipulación mediante casetes que transfieran las obleas sin romperlas y materiales seleccionados por su compatibilidad química, no por su precio.

La construcción antideflagrante es necesaria en algunas aplicaciones porque utilizan disolventes inflamables. La seguridad debe integrarse en la máquina desde el diseño. Si el proceso dispone de una clase de limpieza o una especificación superficial por escrito, ese documento es el punto de partida adecuado para diseñar el sistema.