Sistema de pulverización y secado de 3 cubas

El sistema de pulverización y secado de 3 cubas JTM-30120AD incorpora un sistema ultrasónico de amplio rango de frecuencia de 28KHZ-40KHZ para satisfacer los requisitos de limpieza de precisión de útiles de distintos materiales, con temperatura regulable desde la temperatura ambiente hasta 100℃. Diseñada a medida para portadores de obleas semiconductoras, útiles de fotolitografía y plantillas de utillaje de precisión, la máquina integra procesos de limpieza por pulverización a alta presión y secado con aire caliente. La combinación de tecnología ultrasónica y enjuague por pulverización en todas las direcciones elimina eficazmente residuos de fotorresina, partículas de polvo de silicio, grasa orgánica y diversos depósitos del proceso, limpiando a fondo los contaminantes ocultos en intersticios y ranuras. El secado por circulación de aire caliente elimina las marcas de agua y evita la contaminación secundaria de las obleas por partículas. Con una estructura automática de transporte por pórtico de 3 estaciones, el equipo tiene unas dimensiones totales de 4.3M2.5M2.7M, una potencia total de 65KW y un peso neto de 3000kg. Fabricado con materiales resistentes a la corrosión y adecuados para altos niveles de limpieza, incorpora filtración de precisión en circulación y dispositivos de recogida de gases y líquidos residuales, lo que permite una limpieza cíclica estable en serie de útiles para obleas y satisface las estrictas normas de limpieza de los procesos de fabricación de semiconductores.