Schallplatten-Reinigungshalterung

Diese Serie von 950KHz Megaschall-Reinigungswandlern wurde speziell für die Präzisionsreinigung von Halbleiterwafern entwickelt. Sie ist mit gängigen Waferformaten wie 6-inch, 8-inch (zweimal 6-inch) und 12-inch (300mm) kompatibel; die maximale Leistung beträgt jeweils 1200W, 2400W und 4800W. Der hochfrequente Megaschall mit 950KHz erzeugt winzige Kavitationsblasen mit sanfter, gleichmäßiger Einwirkung. Dadurch lassen sich Mikropartikel, organische Verunreinigungen und Fotolackrückstände effizient von Waferoberflächen entfernen, ohne Mikroschäden an den Präzisionswafern zu verursachen. Die drei Modelle verfügen über standardisierte Schallabstrahlflächen und Gesamtabmessungen, eine kompakte Bauweise, eine ausgezeichnete Abdichtung sowie eine gleichmäßige, stabile Schallfeldverteilung im Betrieb. Sie lassen sich in automatische Wafer-Reinigungsanlagen integrieren und werden in der Halbleiter-Nassreinigung, bei integrierten Schaltkreisen, Photovoltaikchips und in weiteren anspruchsvollen Fertigungsbereichen eingesetzt. Sie verbessern die Waferausbeute und erfüllen industrielle Anforderungen an hohe Präzision und höchste Sauberkeit.