3-komorowy system mycia natryskowego i suszenia

3-komorowy system mycia natryskowego i suszenia JTM-30120AD jest wyposażony w układ ultradźwiękowy o szerokim zakresie częstotliwości 28KHZ-40KHZ, spełniający wymagania precyzyjnego mycia uchwytów wykonanych z różnych materiałów, z regulacją temperatury od temperatury otoczenia do 100℃. Urządzenie dostosowane do nośników wafli półprzewodnikowych, uchwytów fotolitograficznych i precyzyjnych przyrządów technologicznych łączy mycie natryskowe pod wysokim ciśnieniem z suszeniem gorącym powietrzem. Technologia ultradźwiękowa i natrysk docierający ze wszystkich stron skutecznie usuwają pozostałości fotorezystu, cząstki pyłu krzemowego, smary organiczne i różne osady procesowe, dokładnie oczyszczając szczeliny oraz rowki. Suszenie gorącym powietrzem w obiegu usuwa ślady po wodzie i zapobiega wtórnemu zanieczyszczeniu wafli cząstkami. Urządzenie wykorzystuje automatyczny 3-stanowiskowy układ transportu bramowego; jego wymiary gabarytowe wynoszą 4.3M2.5M2.7M, moc całkowita 65KW, a masa netto 3000kg. Konstrukcja z materiałów zapewniających wysoką czystość i odporność na korozję jest wyposażona w precyzyjną filtrację obiegową oraz układy zbierania gazów i cieczy odpadowych, umożliwiając stabilne, seryjne mycie cykliczne oprzyrządowania do wafli i spełniając rygorystyczne wymagania czystości procesów produkcji półprzewodników.