W pełni automatyczne, przyjazne dla środowiska urządzenie do mycia ultradźwiękowego wafli i chipów krzemowych

9-komorowe, w pełni automatyczne, przyjazne dla środowiska urządzenie do mycia ultradźwiękowego JTW-90360AD opracowano do precyzyjnego mycia na mokro wafli i chipów krzemowych w przemyśle półprzewodnikowym. Dwuczęstotliwościowy układ ultradźwiękowy 40KHz-80KHz łączy mycie ultradźwiękowe z ruchem obrotowym, mycie z ruchem oscylacyjnym i suszenie gorącym powietrzem, przy regulacji temperatury od temperatury otoczenia do 100℃. Połączone ruchy obrotowe i oscylacyjne zwiększają intensywność ruchu cieczy. Wraz ze stabilną kawitacją ultradźwiękową umożliwiają skuteczne usuwanie pozostałości fotorezystu, mikrocząstek, zanieczyszczeń organicznych i metalicznych z powierzchni wafli, znacznie ograniczając ponowne osadzanie się cząstek oraz zapobiegając zarysowaniom podłoża, zaciekom i innym wadom. Urządzenie ma 9-stanowiskowy automatyczny układ transportu bramowego, wymiary gabarytowe 9.5M1.8M2.7M, moc całkowitą 180KW i masę netto 5000kg. Jest wyposażone w filtrację środków chemicznych w obiegu zamkniętym oraz centralne układy oczyszczania gazów i cieczy odpadowych, umożliwiające produkcję przyjazną dla środowiska i ograniczenie zużycia środków chemicznych. Konstrukcja zapewniająca wysoki poziom ochrony czystości znajduje szerokie zastosowanie w seryjnym myciu wafli krzemowych, chipów z węglika krzemu, podłoży szafirowych i innych materiałów półprzewodnikowych, spełniając wymagania bardzo wysokiej czystości dla trawienia, nanoszenia powłok, obudowywania i innych procesów front-end w produkcji półprzewodników.