Czyszczenie megadźwiękowe 950 kHz płytek krzemowych a linie ultradźwiękowe 28–120 kHz

W produkcji półprzewodników wybór między przetwornikiem megadźwiękowym 950 kHz (Przetwornik megasoniczny 950 kHz do mycia płytek) a wieloczęstotliwościową myjką ultradźwiękową do płytek krzemowych 28/40/80/120 kHz (Urządzenie do mycia płytek półprzewodnikowych, W pełni automatyczny system mycia ultradźwiękowego płytek półprzewodnikowych, W pełni automatyczne, przyjazne dla środowiska urządzenie do mycia ultradźwiękowego wafli i chipów krzemowych) decyduje o bezpiecznym usuwaniu cząstek submikronowych.

1. Fizyka fali 950 kHz a kawitacja 28–120 kHz

Przetworniki Z4A95012-B (120 W), Z8B95024-B (240 W) oraz Z16B95048-B (480 W) pracują przy 950 kHz ± 25 kHz z uszczelnieniem FKM, usuwając cząstki 0,15 μm bez uszkodzeń struktur krzemowych.

2. Zestawienie systemów półprzewodnikowych Jietai

3. Systemy przeciwwybuchowe IPA, elektropolerowanie EP oraz woda RO+EDI

Zobacz także przeciwwybuchowy system W pełni automatyczny system mycia ultradźwiękowego w wykonaniu przeciwwybuchowym (JTW-4096AD), linię elektropolerowania i pasywacji zaworów Ręczna linia do polerowania elektrolitycznego EP, pasywacji i mycia korpusów zaworów dla przemysłu półprzewodnikowego (JTM-30960FD), system natryskowy 3-komorowy system mycia natryskowego i suszenia (JTM-30120AD) oraz stację wody ultraczystej System wody ultraczystej 1 Ton z dwustopniową odwróconą osmozą + EDI (JTC-1TRO).

4. Konstrukcja wanien ze stali SUS304 / SUS316L, montaż przetworników i dobór mocy ultradźwiękowej

W przemysłowych liniach produkcyjnych sztywność konstrukcyjna oraz gatunek stali wanny ultradźwiękowej bezpośrednio decydują o równomierności pola kawitacji i trwałości urządzenia. Guangdong Jietai wykonuje stołowe myjki serii JPS (od 0,8 L do 30 L) z tłoczonych wanien ze stali nierdzewnej SUS304, natomiast wolnostojące myjki jednowannowe (seria JTS) oraz wielowannowe linie przemysłowe (serie JTM, JT, JTV i JTW) są spawane metodą TIG w osłonie argonu z grubych arkuszy stali kwasoodpornej SUS304 lub SUS316L. Powierzchnie promieniujące są precyzyjnie przygotowywane, wyposażane w kołki zgrzewane i klejone żywicą epoksydową odporną na obciążenia termiczne do 80 °C, co zapobiega odspajaniu przetworników piezoelektrycznych podczas pracy wielozmianowej.

Przy doborze mocy dla dużych wanien przemysłowych (od 38 L do ponad 1 000 L) układ akustyczny nie ogranicza się wyłącznie do dna zbiornika. Jietai stosuje kombinację przetworników dennych i bocznych lub zanurzeniowe płyty wibracyjne (JTP-1008S do JTP-1048S). Boczne rozmieszczenie przetworników gwarantuje, że wysokie detale — takie jak cylindry hydrauliczne, rdzenie form wtryskowych czy kasety z płytkami krzemowymi — są równomiernie poddane działaniu fal ultradźwiękowych na całej wysokości. Sekcje przetworników zasilane są przez zewnętrzne cyfrowe generatory ultradźwiękowe (seria JTF, od 900 W do 2 400 W), zamontowane w wentylowanej szafie sterowniczej odizolowanej od oparów chemicznych.

5. Zasady załadunku koszy, odgazowania kąpieli i filtracji obiegowej

Aby zachować powtarzalną czystość detali, myte elementy nigdy nie mogą leżeć bezpośrednio na dnie wanny. Należy je umieszczać w perforowanych koszach ze stali SUS304 lub dedykowanych uchwytach zawieszonych 30–50 mm nad płytą promieniującą, co chroni membranę denną przed erozją kawitacyjną i przegrzaniem przetworników. Po każdym napełnieniu wanny świeżą wodą, roztworem alkalicznym lub rozpuszczalnikiem węglowodorowym konieczne jest przeprowadzenie 10–20-minutowego cyklu odgazowania (tryb Degas lub odpowietrzanie próżniowe). Usunięcie rozpuszczonego powietrza pozwala pęcherzykom kawitacyjnym docierać do dna nieprzelotowych otworów gwintowanych i mikroszczelin.

Podczas ciągłego odtłuszczania detali tłoczonych i obrabianych skrawaniem wytrącony olej gromadzi się na powierzchni kąpieli. Zastosowanie przelewu powierzchniowego, separatora oleju oraz pompowego układu filtracji z wymiennymi wkładami polipropylenowymi zapobiega wtórnemu zatłuszczaniu detali wyjmowanych z wanny myjącej. W wielowannowych zestawach JTM-FRD oraz JTM-FRSD połączenie filtrowanego mycia, płukania kaskadowego i suszenia gorącym powietrzem zapewnia suche, wolne od zacieków powierzchnie gotowe do montażu lub powlekania.

6. Inżynieryjna lista kontrolna przed doborem linii i testami mycia

Przed opracowaniem schematu technicznego i wyceny standardowej lub niestandardowej linii ultradźwiękowej w naszym zakładzie w Dongguan, zespół inżynieryjny weryfikuje pięć kluczowych parametrów procesu:

• Geometria detali, materiał i masa wsadu: Maksymalne wymiary gabarytowe (dł. × szer. × wys. w mm), rodzaj materiału (stal narzędziowa, stal nierdzewna, aluminium, mosiądz, szkło optyczne lub krzem) oraz wymagana wydajność godzinowa.
• Rodzaj zanieczyszczeń: Oleje tłocznikowe, emulsje chłodzące CNC, tlenek ceru, topniki lutownicze lub nagar polimerowy z form wtryskowych — decydujące o wyborze technologii wodnej, elektrolitycznej lub węglowodorowej próżniowej.
• Otwory nieprzelotowe i wrażliwość powierzchni: Minimalna średnica kanałów wewnętrznych oraz wymóg pracy dwuczęstotliwościowej (28/40 kHz), wysokoczęstotliwościowej (80/120 kHz) lub megadźwiękowej 950 kHz.
• Technologia suszenia i zabezpieczenia antykorozyjnego: Ręczny nadmuch powietrza, noże powietrzne, kąpiel pasywacyjna, tunel z obiegiem gorącego powietrza, suszenie odśrodkowe lub komora próżniowa.
• Warunki lokalowe i urządzenia pomocnicze: Dostępna powierzchnia hali, wysokość pod wciągnik elektryczny lub ramię bramowe PLC, zasilanie trójfazowe oraz integracja stacji wody ultraczystej (RO+EDI), agregatu chłodniczego (chiller) lub oczyszczalni ścieków.

Najczęściej zadawane pytania (FAQ)

Czym różni się czyszczenie megadźwiękowe 950 kHz od 120 kHz?

Fala 950 kHz wytwarza szybki przepływ akustyczny o warstwie przyściennej ~0,8 μm, usuwając submikronowe zanieczyszczenia bez gwałtownej implozji pęcherzyków.

Jakie moce oferują przetworniki 950 kHz Jietai?

120 W (Z4A95012-B), 240 W (Z8B95024-B) oraz 480 W (Z16B95048-B) z generatorem 220 V / 50 Hz.

Jaka czystość wody jest wymagana do płukania płytek krzemowych?

Dwustopniowa odwrócona osmoza z modułem EDI (JTC-1TRO) zapewnia płukanie bez plam jonowych.

Zalecane przemysłowe systemy mycia ultradźwiękowego Jietai do tego procesu: Seria dwukomorowa: mycie ultradźwiękowe + filtracja + płukanie (DUAL), Chłodnica (CHILLER), System wody ultraczystej 1 Ton z dwustopniową odwróconą osmozą + EDI (1), Arkusz myjący (CLEANING).