Soporte para limpieza de discos

Esta serie de transductores de limpieza megasónica de 950KHz se ha desarrollado específicamente para procesos de limpieza de precisión de obleas semiconductoras. Es compatible con las especificaciones habituales de obleas, incluidas 6-inch, 8-inch (doble 6-inch) y 12-inch (300mm), con potencias máximas de 1200W, 2400W y 4800W, respectivamente. La megasonía de alta frecuencia de 950KHz genera diminutas burbujas de cavitación con una fuerza de impacto suave y uniforme, que permiten eliminar eficazmente micropartículas, contaminantes orgánicos y residuos de fotorresina de la superficie de las obleas sin provocar microdaños en las obleas de precisión. Los tres modelos cuentan con un diseño normalizado de la superficie de radiación vibratoria y de las dimensiones totales, una estructura compacta, una excelente estanqueidad y una distribución uniforme y estable del campo acústico durante el funcionamiento. Pueden integrarse en equipos automáticos de limpieza de obleas y se utilizan ampliamente en limpieza húmeda de semiconductores, circuitos integrados, chips fotovoltaicos y otros sectores de fabricación de alta gama. Mejoran eficazmente la proporción de obleas conformes y satisfacen los requisitos industriales de alta precisión y limpieza extrema.